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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
INFICON Transpector APX 仍然是市場(chǎng)**的半導(dǎo)體和顯示器工藝監(jiān)控殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 知道半導(dǎo)體和顯示器客戶有獨(dú)特的需求，Transpector APX 的*新版本可以提供更大的靈活性來(lái)滿足特定的應(yīng)用要求，同時(shí)保持行業(yè)**的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)視器。
下*代 Transpector APX ALD 單壓入口系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠承受容易產(chǎn)生顆?；蛲繉拥幕瘜W(xué)工藝，例如 ALD 或 PECVD。這樣可以進(jìn)行連續(xù)監(jiān)控，以捕獲所有關(guān)鍵流程步驟的數(shù)據(jù)點(diǎn)。此外，入口可進(jìn)行溫度控制，以抵抗腐蝕性氣體，這對(duì)于腔室清潔端點(diǎn)監(jiān)測(cè)應(yīng)用至關(guān)重要。
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