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產(chǎn)品詳細(xì)說明
INFICON Augent TM光學(xué)等離子測量儀是*款緊湊型智能真空監(jiān)測解決方案。
Augent TM將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到*臺緊湊型設(shè)備中，用于監(jiān)測 1 x 10 -7至 5 mbar 的氣體類型，并同時測量 1 x 10 -7 mbar 至大氣的總壓力。Augent TM受到集成皮拉尼傳感器的保護(hù)，可在 20 mbar 以上關(guān)閉等離子體?？焖俟鈱W(xué)測量原理原則上允許檢測任何類型的氣體。
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