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產(chǎn)品詳細說明
TBS是高精度的單自由度直線軸。這款直線軸采用機械式軸承間接驅(qū)動，在同類產(chǎn)品中提供出類拔萃的精準性和精確性。此直線軸由高性能、小齒槽的伺服電機驅(qū)動，采用雙編碼器的反饋控制模式，不僅性能卓越，而且調(diào)試簡單。*進的間接驅(qū)動控制以海德漢集團的編碼器技術(shù)為核心，這款直線軸還為宏動和微動運動在全行程上提供卓越的機械性能。
該直線軸還具有獨特的設(shè)計特性和選配功能，例如隔熱功能、高剛性和微米*的硬限位功能，可充分滿足應用對制程可靠和安全的嚴格要求。
該產(chǎn)品主要應用于半導體行業(yè)，也能滿足眾多不同行業(yè)的需求，滿足對高精準度、高潔凈度、高穩(wěn)定性和高精確度的解決方案。
該產(chǎn)品適用但不限于以下應用：圓晶工藝控制應用，例如Overlay測量，關(guān)鍵尺寸和薄膜測量及光電應用。
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