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產(chǎn)品詳細(xì)說明
On-Board IS 320F XVS 低溫泵旨在提供*高的氫泵送性能，以提高工藝產(chǎn)量和吞吐量，為當(dāng)今離子注入應(yīng)用挑戰(zhàn)提供完美的答案。低溫泵中集成的智能系統(tǒng)控制可確保更好的工藝質(zhì)量、真空*致性和正常運(yùn)行時(shí)間，同時(shí)提供實(shí)時(shí)系統(tǒng)信息以實(shí)現(xiàn)陣列溫度的*佳控制。通過自動(dòng)適應(yīng)不斷變化的熱/氣體負(fù)載條件來提高真空質(zhì)量。
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