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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Advanced Energy 的 Navigator II FCi 通過精確的功率傳輸和調(diào)整來改進(jìn)過程控制。高速匹配網(wǎng)絡(luò)針對關(guān)鍵的、功率敏感的、持續(xù)時間短的等離子工藝步驟進(jìn)行了優(yōu)化。還支持傳統(tǒng)上由基于真空電容器的匹配網(wǎng)絡(luò)處理的傳統(tǒng)較長步長和較寬調(diào)諧范圍。通過高速調(diào)整，Navigator II FCi 提供了許多過程控制增強功能。
縮短等離子穩(wěn)定時間
工藝配方轉(zhuǎn)換之間沒有等離子體丟失
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