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產(chǎn)品詳細說明
緊湊、經(jīng)濟**的集成發(fā)生器和固態(tài)匹配射頻功率傳輸系統(tǒng)
Advanced Energy 的 Paramount HFi 是*種 13.56 MHz 射頻功率傳輸系統(tǒng)，具有集成的固態(tài)匹配網(wǎng)絡，能夠在各種阻抗區(qū)域運行。該解決方案提供*致的電力傳輸、高功率密度和卓越的可靠性。
通過將集成系統(tǒng)直接安裝到腔室上來*大限度地減少占地面積
通過 32 個調(diào)諧范圍位置在寬阻抗區(qū)域?qū)崿F(xiàn)可重復的功率傳輸
由于沒有活動部件，因此具有高可靠性和可重復性
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