配備 MonOVAT 的 02.4 大型輸送閥專為滿足高真空條件下有機(jī)材料氣相沉積系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)。02.4 專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì),結(jié)合了出色的快速運(yùn)動(dòng)時(shí)間和對(duì)工藝相關(guān)沉積物的抵抗力,這些沉積物會(huì)限制標(biāo)準(zhǔn)閥門的性能。02.4 的設(shè)計(jì)目標(biāo)是在*次建議的維修檢查之前實(shí)現(xiàn) 100 萬次循環(huán)的不間斷性能。