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產(chǎn)品詳細說明
VaporSorb CMP 化學空氣過濾器可針對 22 nm 及以下的各種空氣分子污染物提供全面保護。保護工藝設(shè)備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響
防止 22 nm 及以下波長的 AMC
平衡介質(zhì)混合物以針對酸性污染物
去除關(guān)鍵的酸、堿和有機物，以降低污染風險
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