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ETEL 旋轉(zhuǎn)軸DXRH系列
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品牌： ETEL
單價(jià)： 面議
起訂：
供貨總量：
貨期： 現(xiàn)貨
所在地： 瑞士
有效期至： 長期有效
最后更新： 2024-12-09 22:52
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詢價(jià)
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說明
 　　DXRH是ETEL旋轉(zhuǎn)軸系列解決方案中的*新產(chǎn)品。這是*款單自由度、機(jī)械軸承為基礎(chǔ)的旋轉(zhuǎn)軸模組，兼有優(yōu)異的精度和準(zhǔn)確性。
　　集成360,000線的編碼器，擁有無與倫比的機(jī)械性能完全可以比肩空氣軸承解決方案，但結(jié)構(gòu)更簡單，DXRH的核芯組件是海德漢性能卓越的編碼器和軸承技術(shù)，以及無齒槽、無扭矩波動(dòng)的ETEL直驅(qū)電機(jī)技術(shù)。
　　DXRH模塊全面兼容標(biāo)準(zhǔn)的ETEL接口，該模塊可獨(dú)立使用，也可將其集成在ETEL的系統(tǒng)產(chǎn)品中。它還為所有基于DXRH的應(yīng)用，提供了后續(xù)性能升*路徑，無需重新設(shè)計(jì)，因?yàn)榻涌谑窍嗤摹?/div>
　　DXR+旋轉(zhuǎn)模塊可集成在CHARON2和VULCANO2堆疊平臺(tái)上。它具有高剛性、高精度、高準(zhǔn)確性、高清潔性等特點(diǎn)，由于采用不銹鋼設(shè)計(jì)，可有效減小熱變形。
　　盡管旋轉(zhuǎn)模塊主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，但它同樣適用于不同的應(yīng)用和需要高精度和高準(zhǔn)確性旋轉(zhuǎn)解決方案的要求。
　　DXRH旋轉(zhuǎn)模塊可用于大量應(yīng)用和行業(yè)，特別適用于圓晶的制程控制，例如Overlay測量、臨界尺寸和薄膜測量以及光電子應(yīng)用。
 
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