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產(chǎn)品詳細(xì)說明
TTS系列機(jī)器人可以在沒有軌道的情況下訪問EFEM的2個(gè)和3個(gè)FOUP。專門設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使機(jī)器人能夠*其平穩(wěn)且高精度地移動(dòng)。此外，其剛性伸縮機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)高位和低位的高速操控。
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