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產(chǎn)品詳細(xì)說明
也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽(yáng) /陰 陣列電離氣體的捕獲泵。離子濺射反應(yīng)性陰 材料，產(chǎn)生將電離氣體轉(zhuǎn)化為固體化合物的化學(xué)反應(yīng)。這些化合物不再有助于真空系統(tǒng)的壓力，并被永久捕獲在離子泵內(nèi)。離子泵可以在 10-5 到 10-12 mbar 的范圍內(nèi)運(yùn)行，氮?dú)獾拇笮》秶鸀?0.2 到 1,200 l/s。
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