Guided Wave 聚四氟乙烯軸向過(guò)程流通池系列

 　　我們的 GUIDED WAVE? Teflon? 軸向過(guò)程流通池專(zhuān)為腐蝕性*強(qiáng)或不能耐受金屬污染的樣品流而開(kāi)發(fā)，即使是痕量金屬雜質(zhì)也會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的過(guò)程問(wèn)題。這種長(zhǎng)光程非金屬流通池將通過(guò) 25 至 100 mm 的光程來(lái)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。GUIDED WAVE Teflon 軸向工藝流通池專(zhuān)為高腐蝕性工藝和/或微量金屬污染敏感性而設(shè)計(jì)。由于沒(méi)有金屬部件與液流接觸，因此該設(shè)計(jì)非常適合在高頻晶圓廠(chǎng)蝕刻和清潔步驟中，即使十億分之*的金屬污染也會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重問(wèn)題的工藝。Teflon 軸向流動(dòng)池在含有強(qiáng)酸、堿、過(guò)氧化物或鹵代化合物的腐蝕性*強(qiáng)的流體中也能表現(xiàn)良好。