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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
緊湊、經(jīng)濟(jì)**的集成發(fā)生器和固態(tài)匹配射頻功率傳輸系統(tǒng)
Advanced Energy 的 Paramount HFi 是*種 13.56 MHz 射頻功率傳輸系統(tǒng)，具有集成的固態(tài)匹配網(wǎng)絡(luò)，能夠在各種阻抗區(qū)域運(yùn)行。該解決方案提供*致的電力傳輸、高功率密度和卓越的可靠性。
通過(guò)將集成系統(tǒng)直接安裝到腔室上來(lái)*大限度地減少占地面積
通過(guò) 32 個(gè)調(diào)諧范圍位置在寬阻抗區(qū)域?qū)崿F(xiàn)可重復(fù)的功率傳輸
由于沒(méi)有活動(dòng)部件，因此具有高可靠性和可重復(fù)性
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