產(chǎn)品特點
1.復(fù)定位精度±1um 2.超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu) 3.透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn) 4.中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用 5.在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng),提高對位平臺使用的壽命及精度 6.材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能 7.實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
應(yīng)用場景
新能源鋰電池設(shè)備,手機(jī)3C設(shè)備,印刷機(jī)械,光伏設(shè)備,光伏設(shè)備,光纖設(shè)備,光學(xué)設(shè)備,光通訊,半導(dǎo)體設(shè)備。