日本BUSCH干式螺桿真空泵-COBRA BC1000/2000F
輕到中負(fù)載半導(dǎo)體應(yīng)用的理想解決方案
高性能
進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì),鐘形結(jié)構(gòu),專利自平衡螺桿,卓越的運(yùn)行質(zhì)量,安裝機(jī)械增壓泵,適用于負(fù)載鎖定、傳輸室、計(jì)量、光刻、PVD、快速熱處理
高效率
擁有成本低、維護(hù) 少、維修間隔長(zhǎng)、正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)、直接水冷
袖珍的
設(shè)計(jì)用于安裝在任何地方,直接連接罐電機(jī)、背泵、機(jī)械增壓泵,安裝在緊湊的底座上
市場(chǎng)與應(yīng)用
半導(dǎo)體相關(guān)
中程
太陽(yáng)能電池板相關(guān)
物理氣相沉積 (PVD)