Brooks壓力控制器SLA7840系列
SLA7840 金屬密封壓力控制器和流量計
高純度流路, 高的可重現(xiàn)性、穩(wěn)定性和響應(yīng)速度
型號 SLA7840
布魯克斯 SLA7840 型設(shè)備為高純度金屬密封儀器,可同時控制壓力并測量流速。遠程壓力傳感器信號輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標值。相較于其他金屬密封控制器,共面閥可降低壓力變化產(chǎn)生的影響并降低泄漏速度,從而使設(shè)備在長時間使用的條件下更加穩(wěn)定。