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產品詳細說明
UC9 系列采用了 Wasco 的專有制造方法以及 Elgiloy? 隔膜。它提供超高純度和無與倫比的耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質的完美開關，具有高精度和嚴格的公差。
我們?yōu)橄?代半導體加工設備中的高腐蝕性環(huán)境設計了這些開關。UC9 系列的額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次。UC9 系列提供滿足或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項。所有開關均經過氦氣泄漏測試，符合 SEMI F1 標準 ≤ 1 x 10-9 標準cc/秒。
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