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產(chǎn)品詳細(xì)說明
EC-5000 系列排氣壓力控制器可以根據(jù)用戶的選擇在腔室內(nèi)保持*致的壓力。高分辨率步進(jìn)電機(jī)和獨(dú)特的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。
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