德國(guó)ERS 翹曲矯正機(jī) ERS WAT330
WAT是采用了專利技術(shù)了三溫滑動(dòng)專利TriTemp® Slide的翹曲矯正機(jī)
ERS WAT330 是適用于300/3000/30 類型的適用于300/3000/3 的LPW 因LP 3 因曲而修改了ERS。采用三溫滑動(dòng)技術(shù)TriTemp® Slide,在工藝流程的每個(gè)人都可以進(jìn)行翹曲,確保植物的性質(zhì)可以與工具相匹配。
ERS WAT 300在操作過程中可以處理 多該4個(gè)FOUP的操作過程中可以處理 多的4個(gè)FOUP的主動(dòng)識(shí)別器和自動(dòng)識(shí)別任務(wù)的識(shí)別器。該系統(tǒng)可以根據(jù)不同的情況進(jìn)行測(cè)量站、測(cè)量站,設(shè)計(jì)用于曲測(cè)量/監(jiān)控站。該系統(tǒng)具有特殊的環(huán)境,對(duì)翹曲進(jìn)行調(diào)節(jié)膜。