佳武
 

美國ACM RESEARCH 電鍍?cè)O(shè)備
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品牌： ACM RESEARCH
單價(jià)： 面議
起訂：
供貨總量：
貨期：
所在地： 美國
有效期至： 長期有效
最后更新： 2024-12-09 23:03
瀏覽次數(shù)： 258
詢價(jià)
公司基本資料信息
 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說明
 　　美國ACM RESEARCH  電鍍?cè)O(shè)備
電鍍?cè)O(shè)備
主要優(yōu)勢(shì)
水平式電鍍腔體，無交叉污染
可單腔體維護(hù)，提高設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間（up time）
橡膠密封技術(shù), 更好的密封性能
二陽 技術(shù),更好地控制均 性
靈活的工序控制
特性和規(guī)格
兼容8寸和12寸
多可配至3個(gè)Load Port
多可配至4種預(yù)濕腔體，真空控制
多可配至4 個(gè)清洗腔體
多可配至20個(gè)電鍍腔體: Cu,Sn/Ag, Ni
設(shè)備尺寸: 2050 x 5950 x 2650 mm
工藝性能：
片內(nèi)均 性: <5% ( 大- 小/2 平均)
片間均 性＜3%
重復(fù)性: <3%
COP: < 2.0 µm
 
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