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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Tencor P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到*毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需拼接。
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