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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Tencor P-170是*款自動化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到*毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，掃描范圍可達(dá)200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有*進(jìn)的圖形識別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和*進(jìn)的樣品臺，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能和系統(tǒng)之間程式傳輸?shù)臒o縫銜接 - 這是實(shí)現(xiàn)全天候生產(chǎn)的關(guān)鍵。
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