監(jiān)視和控制快速的過程變化
新型 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供業(yè)界**的測量速度,可監(jiān)測和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速工藝變化。Transpector XPR 3+ 非常適合現(xiàn)場空氣泄漏、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴疚锉O(jiān)測。與定期上升率測試相比,使用 Transpector XPR 3+ 進(jìn)行實(shí)時(shí)測量可提供卓越得多的產(chǎn)品保護(hù)。