十多年來(lái),INFICON Transpector CPM *直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)?,F(xiàn)在,Transpector CPM 3 通過(guò)與新傳感器和電子設(shè)備集成的經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的泵送和入口系統(tǒng)提供業(yè)界**的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是適用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等新的和成熟的半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)視器。
Transpector CPM 3 通過(guò)以下方式為我們的合作伙伴提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的投資回報(bào):
行業(yè)**的測(cè)量技術(shù)
穩(wěn)健且自適應(yīng)的架構(gòu)
易于維護(hù)
卓越的產(chǎn)品支持