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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平 (QCM) 測(cè)量的可重復(fù)性、精度和耐用性引入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達(dá) 450°C 的溫度，設(shè)計(jì)用于在 ALD 應(yīng)用的惡劣環(huán)境中運(yùn)行。裸露的晶體電*完全接地，可有效消除任何潛在的電氣干擾問(wèn)題。
專為 ALD 設(shè)計(jì)
INFICON ALD 傳感器的*個(gè)獨(dú)特功能是*根氣體管，用于使用惰性氣體（通常是氮?dú)猓┐祾呔w背面和傳感器腔體。這可以防止反應(yīng)室氣體進(jìn)入傳感器頭，并保持晶體和電觸點(diǎn)的背面沒(méi)有沉積材料。該技術(shù)允許在標(biāo)準(zhǔn) QCM 不適合的系統(tǒng)中進(jìn)行原位測(cè)量。
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