當(dāng)與 INFICON IC6 薄膜沉積控制器配合使用時(shí),INFICON Crystal 12 傳感器會(huì)自動(dòng)更換晶體,而不會(huì)中斷您的流程。
每當(dāng)晶體變得不穩(wěn)定或失效時(shí),IC6 就會(huì)向 Crystal 12 傳感器轉(zhuǎn)盤(pán)發(fā)出信號(hào),立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位,以進(jìn)行連續(xù)沉積速率監(jiān)控。為了進(jìn)*步減少停機(jī)時(shí)間,晶體可以預(yù)*裝載到*二個(gè)可選的轉(zhuǎn)盤(pán)中,然后可以快速輕松地與包含耗盡晶體的轉(zhuǎn)盤(pán)交換,從而*大限度地減少系統(tǒng)打開(kāi)的時(shí)間。