美國(guó)semicorp 365型紫外曝光系統(tǒng)
概述
革命性的新設(shè)計(jì)可快速均勻地固化 UV 膠帶,具有長(zhǎng)壽命光源,可處理 大 300 毫米的所有尺寸晶圓。
365 型紫外線照射系統(tǒng)無(wú)需外部通風(fēng)且占地面積小。
特征
在 5 秒內(nèi)固化大多數(shù) UV 膠帶
可編程 N 2 吹掃和固化時(shí)間
觸摸屏控制
自診斷(如果 LED 出現(xiàn)故障,則發(fā)出警報(bào),識(shí)別有故障的 LED 模塊)
10,000 小時(shí) LED 壽命。
不產(chǎn)生臭氧
冷卻風(fēng)扇溫度控制
大曝光面積可固化 300 毫米框架,易于清潔