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產品詳細說明
佳能新型i線步進式光刻機FPA-5550iZ2具備了高產能和Mix-and-Match OVL性能。FPA-5550iZ2設備搭載了Shot Shape Compensator (SSC) 鏡頭單元，能夠改善曝光區(qū)域內Shot的縱橫倍率差以及鏡頭的失真形變。
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