Canon 超高精細(xì)FPD曝光機(jī)MPAsp-E813系列

　　核心結(jié)構(gòu)的鏡反射（Mirror）光學(xué)系統(tǒng)和照明系統(tǒng)得到了重新設(shè)計(jì)，MPAsp-E813系列實(shí)現(xiàn)了目前***高水準(zhǔn)的解像力性能，既1.5μm（Line/Space)和2.0μm（Contact Hole)，這也意味著可以量產(chǎn)800ppi(Pixel Per Inch）以上的超高精細(xì)面板。而佳能*貫堅(jiān)持的無(wú)拼接式*次性曝光光學(xué)系統(tǒng)，使得高解像力性能與生產(chǎn)安定性得到了并存。在結(jié)構(gòu)方面，剛性的強(qiáng)化提升了承載臺(tái)的移動(dòng)精度，因此稼動(dòng)率擁有了更好的表現(xiàn)。其他方面，新型的倍率補(bǔ)正機(jī)構(gòu)及溫控系統(tǒng)，可以較以往擁有更精細(xì)更穩(wěn)定的重疊精度。新型的對(duì)位系統(tǒng)使得高速高精度的對(duì)位計(jì)測(cè)成為可能，從而顯著提升了設(shè)備的生產(chǎn)節(jié)拍，在此之上佳能還能提供選購(gòu)件，使生產(chǎn)節(jié)拍獲得進(jìn)*步的提升。*后在輕薄化需求方面，MPAsp-E813系列增強(qiáng)了玻璃基板的傳送能力，可對(duì)應(yīng)厚度為0.3mm的玻璃基板。