真空傳感器和控制電路*起化,可廣范圍測(cè)量從大氣壓到E-8Pa。該系列包括皮拉尼真空計(jì)、靜電容量真空計(jì)、水晶離子真空計(jì)、冷陰*皮拉尼真空計(jì)、顯示器(1ch、3ch),廣泛應(yīng)用于*高端的半導(dǎo)體制造設(shè)備、平板顯示器制造設(shè)備等所有需要真空技術(shù)的產(chǎn)業(yè)*域。
產(chǎn)品:
● 電容薄膜真空計(jì) (13~133kPa)
● 皮拉尼真空計(jì)
● 離子真空計(jì)
● 冷陰*皮拉尼真空計(jì)
● 水晶離子真空計(jì)